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ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上,应用溅射、蒸发等多种要领镀上一层氧化铟锡(俗称ITO)膜加工建造成的。液晶显示器公用ITO导电玻璃,借会在镀ITO层之前,镀上一层二氧化硅阻挠层,以阻挠基片玻璃上的钠离子背盒内液晶里散布。高级液晶显示器公用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要停止抛光处置惩罚,以获得更匀称的显现掌握。液晶显示器公用ITO玻璃基板一样平常属超浮法玻璃,所有的镀膜里为玻璃的浮法锡面。因而,终究的液晶显示器都邑沿浮法偏向,规律的泛起波纹不平整状况。

在溅镀ITO层时,差别的靶材取玻璃间,在差别的温度和活动体式格局下,所得到的ITO层会有差别的特性。一些厂家的玻璃ITO层经常表面光洁度要低一些,更轻易泛起“麻点”征象;有些厂家的玻璃ITO层会泛起下蚀距离带,ITO层在蚀刻时,更轻易泛起直线放射型的缺划或电阻偏高带;另外一些厂家的玻璃ITO层则会泛起微晶沟缝。

特性

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ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只要几千埃的状况下,氧化铟透过率下,氧化锡导电能力强,液晶显示器所用的ITO玻璃恰是一种具有下透过率的导电玻璃。因为ITO具有很强的吸水性,以是会吸取氛围中的火份和二氧化碳并发生化学反应而变质,俗称“霉变”,因而在寄存时要防潮。

ITO层在活性正价离子溶液中易发生离子置换反应,构成别的导电和透过率欠安的回响反映物资,以是在加工历程中,只管制止长时间放在活性正价离子溶液中。ITO层由许多微小的晶粒构成,晶粒在加温历程中会裂变变小,从而增添更多晶界,电子打破晶界时会消耗肯定的能量,以是ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会跟着温度的降低,电阻也增大。

分类

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ITO导电玻璃按电阻分,分为下电阻玻璃(电阻在150~500欧姆)、一般玻璃(电阻在60~150欧姆)、低电阻玻璃(电阻小于60欧姆)。下电阻玻璃一样平常用于静电防护、触控屏幕建造用;一般玻璃一样平常用于TN类液晶显示器和电子抗干扰;低电阻玻璃一样平常用于STN液晶显示器和通明线路板。

ITO导电玻璃按尺寸分,有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格;按厚度分,有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格,厚度在0.5mm以下的重要用于STN液晶显示器产物。

ITO导电玻璃按平整度分,分为抛光玻璃和一般玻璃。

主要参数

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长度、宽度、厚度及允差(±0.20)

垂直度(≤0.10%)

翘曲度(厚度0.7mm以上≤0.10%,厚度0.55mm以下≤0.15%)

微观波纹度

倒边C倒边(0.05mm≤宽度≤0.40mm)R倒边(0.20mm≤宽度≤1.00mm,曲率半径≤50mm)倒角(浮法偏向2.0mmX5.0mm;其他1.5mmx1.5mm)SIO2阻挠层厚度(350埃±50埃,550nm透过率≥90%)ITO层光学、电学、蚀刻机能(蚀刻液:600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3)

稳定性

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耐碱为浸入60℃、浓度为10%氢氧化钠溶液中5分钟后,ITO层方块电阻转变值不超过10%。耐酸为浸入250C、浓度为6%盐酸溶液中5分钟后,ITO层方块电阻转变值不超过10%。耐溶剂为在250C、丙酮、无水乙醇或100份去离子水加3分EC101配制成的洗濯液中5分钟后,ITO层方块电阻转变值不超过10%。附着力:在胶带揭附在膜层外面并敏捷撕下,膜层无毁伤;或连撕三次后,ITO层方块电阻转变值不超过10%。热稳定性:在300°C的氛围中,加热30分钟后,ITO导电膜方块电阻值应不大于本方块电阻的300%。

表面质量

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裂纹:不允许。粘附物:包孕尘粒、玻璃碎等突出物,TN型ITO导电玻璃镀膜里不允许有弗成去除的高度凌驾0.1mm的粘附物;STN型ITO导电玻璃镀膜里不允许有弗成去除的高度凌驾0.05mm的粘附物。沾污:弗成有不溶于火或一样平常浑洗剂没法撤除的沾污。崩边:少X宽≤2.0mmx1.0mm;深度不超过玻璃基片厚度的50%;总长度≤总边长的5%。划痕。

玻璃体点状缺点:包孕气泡、混合物、外面凸坑、异色点等。点状缺点的直径界说为:d=(缺点少+缺点宽)/2。

玻璃体线状缺点(宽度W):包孕玻筋、光学变形。

膜层点状缺点:SIO2阻挠层和ITO导电层的点状缺点包孕针孔、朴陋、颗粒等,点状缺点的直径界说为:d=(缺点少+缺点宽)/2。

测试尺度

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尺寸:

A、测试要领:用直尺和游标卡尺丈量待测玻璃本片的长度、宽度、厚度。

B、判断尺度:丈量效果在供货商所供应的参数局限以内为及格。

里电阻:

A、测试要领:把待测试玻璃全部地区做为测试地区,然后测试地区分红九等份后再用四探针测试仪离别测试各区域的里电阻。

B、判断尺度:凭据测试效果计算出电阻平均值及电阻材料疏散值,效果在要求范围内既是及格。

ITO层温度机能

A、测试要领:把待测玻璃本片在3000C的氛围中,加热30分钟,测试其加温前后的同一点里电阻阻值。B、判断尺度:ITO导电膜方块电阻值应不大于本方块电阻的300%为及格。

蚀刻机能:

A、测试要领:把待测玻璃本片放入生产线所用的蚀刻液中测试其蚀刻完整的工夫。

B、判断尺度:蚀刻完整的工夫值小于生产工艺所设定工夫的一半值为及格。

耐碱性能

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A、测试要领:把待测玻璃原片放在600C、浓度为10%氢氧化钠溶液中5分钟后,测试其浸泡前后的同一点里电阻阻值。

B、判断尺度:ITO层方块电阻转变值不超过10%为及格。

光电机能取可靠性:

A、测试要领:把待测玻璃取现消费用玻璃按现生产工艺参数,选择一型号建造成制品并测试其光电取可靠性机能;

B、判断尺度:光电机能取可靠性测试效果取现消费用玻璃效果相称,并在测试产品型号要求局限以内。

C、一样平常来说,ITO玻璃耐碱性能优越。

选用划定规矩

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模数在240以上的产物,一样平常可选用供货商B级品玻璃;

模数在40模以上,240模以下的产物,一样平常选用一般A级品玻璃;

模数在40模以下的产物,STN产物,一样平常选用低电阻抛光玻璃。

COG产物,一样平常选用15欧姆抛光玻璃。

使用方法

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任何时刻皆不允许叠放;

除划定中,一样平常要求竖向安排;平放操纵时,只管连结ITO里朝下;厚度在0.55mm以下的玻璃只能竖向安排;

取放时只能打仗四边,不克不及打仗导电玻璃ITO外面;

沉拿轻放,不克不及与其它治具和机械碰撞;

若是要长时间寄存,一定要注重防潮,以避免影响玻璃的电阻和透过率;

关于大面积和少条形玻璃,在设想排版时要思索玻璃基片的浮法偏向。

贮运要领

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ITO导电玻璃的储存要领:

ITO导电玻璃应储存在室温条件下,湿度在65%以下枯燥生存;贮放时玻璃连结竖向安排,玻璃间堆放弗成凌驾二层,木箱装ITO导电玻璃货色堆放弗成凌驾五层。纸箱装货ITO导电玻璃货色,原则上不克不及堆放。

ITO导电玻璃搬运要领:

易碎品,警惕轻放,连结搬运历程中的稳定性,搬运时层高不得凌驾三层。

制造工艺

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(1)电化学散布工艺:在玻璃上用电化学散布要领可获得搀杂超导薄膜。玻璃在电化学处置惩罚装配中取熔融金属或化合物打仗,在肯定的电场感化下,熔融金属或化合物中的离子会散布到玻璃外面,玻璃中的一价碱金属离子离解处去,等量天散布至阴极外面,使玻璃外面的化学构成发作转变。机能随之改动。
  (2)高温喷涂和等离子体喷涂工艺:这类手艺是将粉末状金属或非金属、无机质料加热至融化或已融化状况,并进一步加温使其雾化,构成高温高速焰流喷背需喷涂的玻璃基体。接纳这类体式格局能够先在基体上制备YBaGUOx等涂层,在经由热处理可成为超导性质料。


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